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薄膜在線檢測系統

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簡介


我司不僅僅為客戶提供實驗使用、科研需求的薄膜檢測、分析儀器,同時也為廣大工業用戶提供在線檢測的系統方案。不僅可在線檢測導電薄膜的面電阻、膜厚、薄膜均勻性,并且可集成光學反射率、透過率等的功能。

 

 

規格參數


測量模式:非接觸式實時測量

襯底:foils, glass, wafer等

檢測間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

傳感器數目:1 – 99

面阻范圍: 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

工作環境:真空 /  非真空  

工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

采樣率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

配套設備(選配):硬件觸發 / 條形碼閱讀器

選配功能:導電膜厚度/ 光透射率 / 反射率 / 色度等

 

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光譜反射分析系列:SR100、SR300、SR500等

橢偏儀系列:SE200、SE300BM,SE500等

 

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

 

測量模式:非接觸式實時測量

襯底:foils, glass, wafer等

檢測間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

傳感器數目:1 – 99

面阻范圍: 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

工作環境:真空 /  非真空  

工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

采樣率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

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暫未實現,敬請期待
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