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實驗室掃描面阻測量儀

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簡介


Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線監測具有重要意義。

 

規格參數


測量模式:非接觸式實時測量

襯底:foils, glass, wafer等

最大掃描尺寸:10 inch / 254 x 254 mm (其他尺寸可定制)

檢測間距:2 / 5 / 10 / 25 mm (取決于不同樣品厚度和應用)

面阻范圍: 0.0001 to 1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

掃描間距:1 / 2 / 5 / 10 mm (其他可定制)

檢測速度:

4 inch / 200 x 200 mm約  0.5~ 5 minutes (1 – 10 mm pitch);

8 inch / 200 x 200 mm 約1.5 ~ 15 minutes (1 – 10 mm pitch)。

設備尺寸:23.6 x 9.05 x 31.5 inch / 600 x 230 x 800 mm @ 27 kg

其他選件:各向異性;光透過率。

 

 

功能圖解


 

 

 

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未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

     Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線監測具有重要意義。

 

測量模式:非接觸式實時測量

襯底:foils, glass, wafer等

最大掃描尺寸:10 inch / 254 x 254 mm (其他尺寸可定制)

檢測間距:2 / 5 / 10 / 25 mm (取決于不同樣品厚度和應用)

面阻范圍: 0.0001 to 1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

掃描間距:1 / 2 / 5 / 10 mm (其他可定制)

檢測速度:

4 inch / 200 x 200 mm約  0.5~ 5 minutes (1 – 10 mm pitch);

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設備尺寸:23.6 x 9.05 x 31.5 inch / 600 x 230 x 800 mm @ 27 kg

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暫未實現,敬請期待
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