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在線監測面阻測量儀

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簡介


Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線面阻監測具有重要意義。

 

 

 

規格參數


測量模式:非接觸式實時測量

襯底:foils, glass, wafer等

檢測間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

傳感器數目:1 – 99

面阻范圍: 0.0001~1000 Ohm/sq

薄膜厚度:2nm – 2mm(依據面阻而定)

工作環境:真空 /  非真空  

工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)

采樣率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s

配套設備(選配):硬件觸發 / 條形碼閱讀器

選配功能:導電膜厚度/ 光透射率 /密度 /各向異性

 

 

功能圖解


 

 

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Suragus面阻測試儀來自德國,其通過渦流的原理測量材料面阻值,該技術是一種非接觸式面阻測試技術且測試準確穩定,對于無損檢測、在線面阻監測具有重要意義。

測量模式:非接觸式實時測量

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檢測間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)

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